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測(cè)量范圍
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電阻率：0.001～200Ω.cm(可擴(kuò)展)；
方塊電阻：0.01～2000Ω/□(可擴(kuò)展)；
電導(dǎo)率：0.005～1000 s/cm；
電阻：0.001～200Ω.cm；
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可測(cè)晶片厚度
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≤3mm
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可測(cè)晶片直徑
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140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái))；
200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái))；
400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái))；
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恒流源
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電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，檔電流連續(xù)可調(diào)
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數(shù)字電壓表
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量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性、超量程自動(dòng)顯示；
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四探針探頭基本指標(biāo)
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間距：1±0.01mm；
針間緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
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四探針探頭應(yīng)用參數(shù)
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(見(jiàn)探頭附帶的合格證)
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模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)
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0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
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整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差
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(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±4%
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整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度
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≤4%
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計(jì)算機(jī)通訊接口
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并口
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標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
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溫度：23±2℃；
相對(duì)濕度：≤65%；
無(wú)高頻干擾；
無(wú)強(qiáng)光直射；
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