數(shù)字式四探針測(cè)試儀/數(shù)字式四探針測(cè)試儀/四探針電阻率測(cè)試儀
型號(hào):HAD-ST2258A
概述
HAD-ST2258A型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量裝置,它可以測(cè)量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率,擴(kuò)散層的薄層電阻(亦稱方塊電阻)。換上四端子測(cè)試夾具,還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。
本測(cè)試儀特贈(zèng)設(shè)測(cè)試結(jié)果分類功能,zui大分類10類
儀器參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換部采用數(shù)字化鍵盤輸入;具有零位、滿度自校功能;自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程;測(cè)試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成,故定位、游移率小、壽命長;測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。
基本參數(shù)
1. 測(cè)量范圍、分辨率
電 阻: 1.0×10-3 ~ 200.0×103 Ω, 分辨率0.1×10-3 ~ 0.1×103 Ω
電 阻 率: 10.0×10-3 ~ 20.0×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-3 ~ 0.1×103 Ω-cm
方塊電阻: 10.0×10-3 ~ 20.0×103 Ω/□ 分辨率1.0×10-3 ~ 0.1×103 Ω/□
2. 可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸
直 徑: 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15~130mm,其他方式不限.
長(或高)度: 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤160mm, 其他方式不限.
3. 量程劃分及誤差等
量程
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200.0
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20.00
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2.000
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200.0
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20.00
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2.000
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200.0
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kΩ-cm/□
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Ω-cm/□
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mΩ-cm/□
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誤差
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±0.5%FSB±1LSB(在量程范圍內(nèi)),超量程或欠量程可測(cè)量,但誤差將隨超欠程度而變大
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4) 工作電源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W
5) 外形尺寸:W×H×L=20cm×7.5cm×18cm
凈 重:≤1kg
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