電子薄膜應(yīng)力分布測試儀 型號：BGS-6341
該產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子、光電子線上和科研、教學(xué)等領(lǐng)域Si、Ge、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布、光學(xué)零件面形和平整度面形、 基片曲率
半徑測量測試。該儀器總測量點(diǎn)數(shù)多, 能給出場面型分布結(jié)果, 適合于微電子線上產(chǎn)量的快速檢驗(yàn)和微電子研究。
儀器基于干涉計(jì)量的場測試原理, 可實(shí)時(shí)觀測面型的分布, 迅速了解被測樣品的形貌及應(yīng)力集中位置, 及時(shí)淘汰早期失效產(chǎn)品。
 創(chuàng)的錯(cuò)位相移 |
| 計(jì)算機(jī)自動條紋處理 |
| 測試過程自動 |
| 的曲面補(bǔ)償測試原理 |
| zui大樣品尺寸 |
≤100mm (4英寸) |
| 曲率范圍 |
|R|≥5米 |
| 測試度 |
5% |
| 單片測量時(shí)間 |
3分鐘/片 |
| 結(jié)果類型 |
面形、曲率半徑、應(yīng)力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格 |
| 圖形顯示功能 |
三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示 |
| 電源 |
AC 220V±10%, 50Hz±5% |
| zui大功耗 |
100W |
| 外型尺寸(L×W×H) |
285mm×680mm×450mm |
| 重量 |
36kg |
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